擴散泵主要由泵殼、泵芯、蒸發鍋、加熱器、冷卻水管組成。擴散泵適用于抽除高真空系統中對工作液體無嚴重危害的氣體。當前級泵將擴散泵內抽止10Pa左右的預真空后，在室溫下工作液由加熱器加熱，產生的油蒸汽沿導管向上運動，經幾級噴出，將擴散在油蒸汽中的氣體帶到前級端，由前級泵排除到大氣中，油蒸汽噴射在泵壁，遇到冷卻后，又回到泵底，由此重復工作達到高真空目的。

K/TK/ULK型金屬油擴散泵適用于電子工業、電光源工業、真空鍍膜、真空冶煉、化學工業科研等各個領域。對被抽容器進行抽氣，使之達到高真空（可達標10-5Pa）目的。

泵殼、泵芯∶不銹鋼SUS304 

冷卻水管∶紫銅軟管

密封圈∶丁腈橡膠

擴散油泵∶SD-DPO-3或275#硅油