本設備用于生產氧化物晶體，系統主要用于YAG等單晶提拉生長。

設備特點：

德國進口高靈敏的稱重傳感器，自主開發的晶體生長軟件。

技術指標:

1、  工作腔φ500×1000 mm

2、  工作溫度～2100℃

3、  極限真空度< 5×10^-4Pa

4、  加熱功率～25KW IGBT電源